一、特點：
1、無導頭粗糙度傳感器，以精密導軌為測量基準，具有精度更高，應用更加廣泛的優(yōu)勢。極低的殘值噪聲，≤0.005μm！
2、殘值噪聲是粗糙度測量的一項重要指標，殘值噪聲決定了測量的基礎精度。
3、分析功能：測量完成后，可根據(jù)需要選取需要評價的原始數(shù)據(jù)進行粗糙度分析，還可以剔除不需要的數(shù)據(jù)。
4、測量長度過短時，可采集完成后，選擇適當?shù)脑u價長度進行分析。
二、測量原理
本儀器測量原理為直角坐標測量法，即通過X軸、Z1軸傳感器，測繪出被測零件的表面輪廓的坐標點，通過電器組件，將傳感器所測量的坐標點數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔?span>PC機，軟件對所采集的原始坐標數(shù)據(jù)進行數(shù)學運算處理，標注所需的工程測量項目。
三、測量功能
1、粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
2、波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
3、原始輪廓參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
四、測量范圍
|
序號 |
項目 |
測量范圍 |
分辨率 |
|
1 |
驅動器 |
150mm |
0.2μm |
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2 |
傳感器 |
±620μm |
262144:1 |
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3 |
立柱 |
420mm |
- |
五、技術規(guī)格
|
序號 |
名稱 |
項目 |
參數(shù) |
|
1 |
技術參數(shù) |
線性精度 |
≤±(5nm+2.8%) |
|
殘值噪聲 |
≤0.005μm |
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|
重復性 |
1δ≤1nm |
||
|
截止波長 |
0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm |
||
|
評定長度 |
λcX2、3、4、5、6、7 |
||
|
2 |
運動控制 |
X軸驅動方式 |
電動 |
|
Z軸驅動方式 |
電動 |
||
|
X軸驅動速度 |
0.05~15mm/s |
||
|
Z軸驅動速度 |
0.2-15mm/s |
六、環(huán)境要求
1、室內(nèi)周圍應無影響測量的灰塵、振動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強磁場
2、地面震動******RMS： ＜50HZ 2.5μm/s / ＞50HZ 5.0μm/s
3、電 源：AC 220V±5% 50Hz 單獨地線
4、功率需求：500W
5、溫度：現(xiàn)場溫度：12～26℃ 理想溫度：20±2℃ 階梯溫度不超過1℃/h
6、相對濕度：＜85%（無凝露）
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